01/10/2001

Dow представила первый промышленный образец пленки с фиксированным спином

Используя накопленные научные знания в создании новых материалов, Dow Chemical анонсировала Ensemble ES технологию, которая позволит наладить промышленный выпуск тонкоплёночных материалов нового поколения. Тонкоплёночные материалы такого класса найдут широкое применение в производстве полупроводников.

Ensemble ES технология представляет новый класс тонкоплёночных материалов, на основе полупроводниковых диэлектрических смол (SiLK) Dow. Благодаря этому понижающие уровень k плёнки могут достигать толщины в 130 нм и менее. Полученные плёнки дают возможность построить логические интегральные схемы, с пониженным значением эффективной диэлектрической константы (k), что позволяет строить более быстрые, мощные и одновременно более дешевые чипы.

«Основное преимущество нашей Ensemble ES технологии в том, что она разработана в соответствии с требованиями совместимости со всеми выпускаемыми нами SiLK смолами, благодаря чему наши клиенты смогут достичь хорошего качества изготовления плёнки», – заявил Mark McClear, коммерческий директор полупроводникового подразделения Dow, Semiconductor Fab Materials.

Ensemble ES технология обеспечивает диэлектрическую константу k со значением меньше чем 3,2, в то время как, используя технологию осаждения из газовой фазы (CVD технология), можно получить k, приблизительно равное 5,0. При использовании наилучших SiLK смол, которые обеспечивают значение k порядка 2.0, Ensemble ES плёнки могут понизить эффективное значение k и удешевить производство.

«Поскольку в полупроводниковой отрасли существует явная тенденция перехода к производству устройств по 130 нм технологии, производители чипов требуют понижения стоимости лицензий на использование тонкоплёночных технологий, понижающих уровень k и позволяющих значительно улучшать характеристики устройств», – добавил McClear.

То, что Ensemble ES решение использует диэлектрические смолы SiLK, позволяет значительно удешевить процесс производства чипов. Критическим критерием качества пленок этого класса является селективная избирательность с показателем селективности более 20:1. Ensemble ES плёнки обладают характеристиками, в два раза превышающими показатели конкурентов. Это позволяет использовать тонкие плёнки для понижения эффективной диэлектрической проницаемости.

«Как часть обязательств по обеспечению беспрепятственной интеграции производств с использованием SiLK смол, компания Dow разработала полный спектр материалов на основе новой технологии для применения в качестве диэлектрических подложек», – заявил McClear.

Создание Ensemble ES пленки является первым шагом по направлению к созданию серии диэлектрических подложек с фиксированным спином и для упрощения интеграции SiLK смол в производственные потоки. Другие варианты подложек, как ожидается, станут доступны для тестирования в начале 2002 года. SiLKnet Alliance, предприятие-партнер Dow в процессе разработки решений на основе SiLK смол, начало разработку интеграционных стратегий для Ensemble ES решений. Образцы Ensemble ES плёнок станут доступны клиентам в четвёртом квартале 2001 года. Коммерческое производство предполагается начать в первом квартале 2002 года.

О полупроводниковых диэлектрических смолах SiLK

Смолы SiLK относятся к разряду веществ, понижающих уровень k или – веществ с упорядоченным состоянием спина, которые позволяют производителям полупроводников улучшать скоростные характеристики их чипов, не снижая при этом надёжности устройств.

Первое поколение SiLK смол имело k=2,6 для случая обоих медных и алюминиево/вольфрамовых поверхностей. Сейчас Dow предлагает использовать технологию следующего поколения. Она основана на производстве чипов с использованием пористой SiLK смолы (k=2), что позволит строить чипы по 100 нм технологии.

О Dow

Использование передовых электронных материалов и технологий характерно для компании Dow, одной из ведущих научно-технологических компаний, занимающейся разработками в химической, пластиковой и сельскохозяйственной областях производства и работающей на множестве потребительских рынков.

Ежегодные продажи компании составляют около 30 млрд долларов. Компания обслуживает клиентов более чем в 170 странах мира. Dow имеет интересы в пищевой, транспортной отраслях, здравоохранении, строительстве и т.д. Придерживаясь принципа устойчивого развития, 50 000 служащих компании постоянно ищут компромисс между экономикой и экологической и социальной ответственностью.


Другие новости этого раздела:

13/03/2024

«Дорогобуж» внедрил мобильный обходчик на производстве азотной кислоты

16/02/2024

«Уралхим» внедрил MES-систему

16/10/2023

«Уралхим» мигрировал с решений Microsoft и Cisco на российское ПО

20/07/2023

В НПЦ «Акрон инжиниринг» внедрили PDM-систему

23/06/2023

«Акрон» продает невостребованные ТМЦ на собственной электронной торговой площадке

24/04/2023

"Еврохим" запустил платформу b2b продаж

20/03/2023

"Еврохим" внедрил системы усовершенствованного управления технологическим процессом

09/03/2023

В «ВМУ» внедрили систему автоматизированного мониторинга соблюдения требований охраны труда

07/11/2022

МТС запустила LTE связь на фабрике "Уралкалия"

20/09/2022

«Акрон» запустил агрокалькулятор

12/09/2022

Специалисты пермской компании разработали новую систему мониторинга объема сыпучих материалов

21/06/2022

«Дорогобуж» внедряет информационную систему управления складом

03/06/2022

«Северо-Западная Фосфорная Компания» внедрила комплекс систем безопасности работников в подземке

31/05/2022

На производстве БИАКСПЛЕНа установлен четвёртый робот-растарщик

05/04/2022

Электронная система обходов охватила все технологические цеха КАО Азот